Principiile de bază ale microscopului electronic de scanare
Fasciculul electronic emis de arma electronică cu microscop electronic de scanare este focalizată și condensată într-o sursă de lumină punctuală; sursa de lumină punctuală formează un fascicul de electroni de mare energie sub o tensiune de accelerare; fasciculul de electroni de mare energie este focalizat într-un loc luminos cu un diametru mic prin două lentile electromagnetice și trece prin ultimul După o lentilă electromagnetică cu o bobină de scanare, fasciculul de electroni bombardează suprafața eșantionului punct cu punct într-un mod de scanare raster-like, și, în același timp, excită semnalele electronice de adâncimi diferite.